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聚焦离子束刻蚀系统(关于聚焦离子束刻蚀系统简述)

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聚焦离子束刻蚀系统(关于聚焦离子束刻蚀系统简述)

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1、聚焦离子束刻蚀系统是一种用于信息与系统科学相关工程与技术领域的工艺试验仪器。

2、于2016年6月13日启用。

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